平面度测量方法有哪些

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平面度测量方法有哪些

平面度是指基片具有的宏观回凸高度相对理想平面的偏差。平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标，用来控制被测实际平面的形状误差。

测量方法

平面度误差测量的常用方法有以下几种。

①平晶干涉法。用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。这种方法主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。

②打表测量法。打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。

③液平面法。液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由“连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。

④光束平面法。光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。

⑤激光平面度测量仪。激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差。

数据处理

测量基准位量不同

用水平仪或自准直仪测量平面度时，需要将各测点位置的仅器读数值转换到相对于同的测量基准的数据。

理想要素与量基准方向不一致

由于被测面的理想平面与测量基准方向不一致，为求得平面度误差，就需要作数据处理，具体方法如下所述。

座标变换法：与求直线度误差的方法相类似,根据测得的相对统一测量基准的数据，进行适当的座标变换，使新的数据成为相对于理想平面的数据。座标变换法的实质是在测得数据上加一对应的等差数列。

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