电子背散射衍射仪的原理及应用

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电子背散射衍射仪原理及应用

一种通过探测电子背散射衍射花样来确定晶体特征信息的仪器，简称EBSD。一般与扫描电镜等大型仪器设备使用。是一种揭示晶体材料微观结构的十分有效方法。

工作原理

当入射电子束在晶体样品中产生散射时，在晶体内向空间所有方向发射散射电子波。如果这些散射电子波和晶体中某一晶面之间恰好符合布拉格衍射条件将发生衍射，这就是电子背散射衍射。电子背散射衍射花样通过荧光探头接收，并最终转化为数据结果。

应用

电子背散射衍射分析技术应用于微区的晶体取向分析、相鉴定、应变分析和织构分析等领域。

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