NIST SRM 2000 高分辨率 X 射线衍射NIST 2000

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标准参考材料® 2000

高分辨率 X 射线衍射校准标准

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NIST SRM 2000 高分辨率 X 射线衍射本标准参考材料（SRM）为高分辨率X射线衍射（HRXRD）社区提供了国际单位制（SI）[1]可追踪的SI（220）d间距，透射面到晶面晶片以及我们的参考波长的反射中的表面到Si（004）布拉格角。SRM 2000的一个单元包括标称50 nm的25 mm×25 mm×0.725 mm双抛光（100）取向单晶Si样品Si0.85Ge0.15外延层和25nm Si帽。这些认证值可用于校准HRXRD仪器。

NIST SRM 2000 高分辨率 X 射线衍射表1。SRM 2000认证值

数量（a）认证值扩展不确定度（b），k=2时的U

dSRM 0.192 016 1 nm（22.5°C时）0.000 000 9 nm

ξSRM 4.360 mrad 0.027 mrad

fSRM–360 mrad 16 mrad

xSRM–1.534 mrad 0.072 mrad

ySRM 4.0810 mrad 0.019 mrad

θ表面，SRM（004）0.604 785 rad 0.000 076 rad

（a） 数量的标识见表2。

（b） 不确定度方法见[2-4]。

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