台式扫描电子显微镜的工作原理及应用

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台式扫描电子显微镜的工作原理及应用

扫描电子显微镜工作原理

扫描电子显微镜(SEM)——利用极细电子束在被观测样品表面上进行扫描，通过分别收集电子束与样品相互作用产生的一系列电子信息，经转换、放大而成像的电子光学仪器。是研究三维表层构造的有利工具。

在高真空的镜筒中，由电子枪产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后，在样品表面逐点进行扫描轰击，产生一系列电子信息(二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等)，由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。

聚焦电子束对样品表面扫描时，由于样品不同部位表面的物理、化学性质、表面电位、所含元素成分及凹凸形貌不同，致使电子束激发出的电子信息各不相同，导致显像管的电子束强度也随着不断变化，最终在显像管荧光屏上可以获得一幅与样品表面结构相对应的图像。根据探测器接收的电子信号的不同，可分别获得样品的背散射电子图像、二次电子图像、吸收电子图像等。

扫描电镜分辨率可达50~100Å，电子放大倍数可由十几倍连续变化到几十万倍。因此可以对样品的整个表面进行比较仔细的观察。

扫描电子显微镜应用领域

调查表明接近90%的扫描电镜图片是在2万倍以下拍摄的，因此台式扫描电镜可以满足绝大多数传统SEM用户的需求，其应用领域极其广泛，包括：粉末、金相、制药、造纸、半导体、微电子、生命科学……

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